Процесс напыления
Как же осуществляется процесс напыления?
Рассмотрим наиболее распространенный и простой способ получения пленок — термовакуумный. Нанесение металлической пленки термическим способом производят на установках термовакуумного напыления. В рабочей камере укрепляют подложки на специальной карусели (барабане), которая вращается вместе с подложками. Подложки подогреваются, в испарители (особые формочки) закладывают металл, который будут испарять. В камере создают вакуум. Через испарители пропускают электрический ток, металл нагревается и плавится, частицы его испаряются и, распространяясь в вакууме, оседают на подложках. При этом образуется металлическая пленка. Когда пленка достигает требуемой толщины, что определяется по величине ее электрического сопротивления, процесс прекращают.
В зависимости от типа микросхемы напыляют от одного до четырех слоев. Каждый металл напыляется в режиме, свойственном только ему. Это значит, металл начинает испаряться при строго определенной температуре. Оператор устанавливает требуемую для распыления величину тока, внимательно следит за процессом конденсации пленки по показаниям приборов. Для этого он должен знать особенности поведения каждого металла в процессе напыления.
Физико-химические процессы, происходящие при этом, очень сложны и зависят от множества условий. Малейшее несоответствие технологическим требованиям приводит к нарушению процесса напыления. Оператор обязан своевременно заметить нарушение, определить его причину и устранить отклонение.
Разгрузка рабочей камеры осуществляется после охлаждения. Камеру открывают, пинцетом вынимают подложки и внимательно осматривают. Затем проверяют тестером величину сопротивления различных участков подложки.
После этого подложки передаются на операцию фотолитографии, где придают нужную конфигурацию пленочным элементам.
Труд оператора вакуумно-напылительных процессов отличается повышенным эмоциональным напряжением. Это объясняется высокими технологическими требованиями к процессу напыления и его результатам, нередкими отклонениями процесса от нормы. Поэтому оператор вакуумного напыления должен быть эмоционально устойчив в стрессовых ситуациях.